半導体製造技術とケミカル技術を使った小型圧力センサー

サーパス工業株式会社は、半導体製造装置や医療機器などで使われている薬液供給システムとその部品であるクイックコネクターやバルブなどを取り扱う会社です。薬液供給をシステムとして考えた場合には、クイックコネクターやバルブの操作性や耐久性も重要ですが、システム全体を監視する圧力センサーの働きも重要になります。

サーパス工業株式会社の圧力センサーは、半導体を製造する際に用いられるスパッタリング技術を使うことでセンサー素子を薄膜化して小型化に成功しています。また、ケミカル技術を応用することで、耐薬品性・耐リーク性・パーティクルの低減化にも成功しています。これらの技術は圧力センサーだけでなく、圧力スイッチや圧力ゲージにも応用されています。